Method for manufacturing substrates with transparent conductive film, apparatus for manufacturing substrates with transparent conductive film, substrate with transparent conductive film, and solar cell

WO2017170125 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017170125
Aktenzeichen
EP17774663
Anmeldetag
23. März 2017
Veröffentlichung
5. Oktober 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C23C14/08C23C16/24H01L31/0224
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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