Pressure-type flow rate control device and flow rate self diagnosis method

WO2017170174 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017170174
Aktenzeichen: EP17774712
Anmeldetag: 23. März 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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