Beam scanning device and pattern rendering apparatus

WO2017170513 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017170513
Aktenzeichen: EP17775050
Anmeldetag: 28. März 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/12B41J2/47G03F7/20G03F7/24H04N1/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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