Observation device, observation system, data processing device, and program

WO2017170825 Art A1 5. Oktober 2017

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017170825
Aktenzeichen: EP17775359
Anmeldetag: 30. März 2017
Veröffentlichung: 5. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/3577G01N21/21G01N21/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.782 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.282 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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