Surface treatment method and mask, and surface treatment device
WO2017175556
Art A1
12. Oktober 2017
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017175556
- Aktenzeichen
- EP17778935
- Anmeldetag
- 16. März 2017
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/38G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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