Process liquid, method for manufacturing same, pattern formation method, and method for manufacturing electronic device

WO2017175856 Art A1 12. Oktober 2017

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017175856
Aktenzeichen: EP17779233
Anmeldetag: 7. April 2017
Veröffentlichung: 12. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42G03F7/16G03F7/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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