Method for measuring carbon concentration of silicon sample, method for manufacturing silicon single crystal ingot, silicon single crystal ingot, and silicon wafer

WO2017179254 Art A1 19. Oktober 2017

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017179254
Aktenzeichen: EP17782073
Anmeldetag: 18. Januar 2017
Veröffentlichung: 19. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

658 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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