Device and method for maskless thin film etching

WO2017180942 Art A1 19. Oktober 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017180942
Aktenzeichen
EP17783181
Anmeldetag
14. April 2017
Veröffentlichung
19. Oktober 2017
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/362B23K26/142B23K101/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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