Verfahren zur Positionserfassung eines Maskenhalters auf einem Messtisch

WO2017182558 Art A1 26. Oktober 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017182558
Aktenzeichen: EP17721555
Anmeldetag: 20. April 2017
Veröffentlichung: 26. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B11/03G03F1/84H01L21/67G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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