Polishing material for synthetic quarts glass substrate and method for polishing synthetic quarts glass substrate

WO2017183290 Art A1 26. Oktober 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017183290
Aktenzeichen
EP17785635
Anmeldetag
23. Februar 2017
Veröffentlichung
26. Oktober 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00C03C19/00C09G1/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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