Particle beam device, observation method, and diffraction grating

WO2017183472 Art A1 26. Oktober 2017

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017183472
Aktenzeichen: EP17785814
Anmeldetag: 6. April 2017
Veröffentlichung: 26. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/295G01N23/04G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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