Method of forming a directed self-assembled layer on a substrate

WO2017184357 Art A1 26. Oktober 2017

Anmelder: ASM IP Holding B.V., IMEC VZW 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017184357
Aktenzeichen: EP17786340
Anmeldetag: 7. April 2017
Veröffentlichung: 26. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASM IP Holding B.V.
IMEC VZW
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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