Combined anneal and selective deposition process

WO2017184358 Art A1 26. Oktober 2017

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017184358
Aktenzeichen: EP17786341
Anmeldetag: 7. April 2017
Veröffentlichung: 26. Oktober 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B05D3/02B05D3/04C23C8/00C23C8/06C23C16/40C23C16/44C23C16/448C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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