System, method and computer program product for correcting a difference image generated from a comparison of target and reference dies
WO2017185058
Art A1
26. Oktober 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017185058
- Aktenzeichen
- EP17786773
- Anmeldetag
- 21. April 2017
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95G01N21/88G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.