Image processing convolution algorithm for defect detection

WO2017186421 Art A1 2. November 2017

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017186421
Aktenzeichen: EP17714409
Anmeldetag: 24. März 2017
Veröffentlichung: 2. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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