Method and apparatus for determining the property of a structure, device manufacturing method

WO2017186483 Art A1 2. November 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017186483
Aktenzeichen: EP17715765
Anmeldetag: 11. April 2017
Veröffentlichung: 2. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/956H01L21/66G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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