Film deposition device
WO2017187503
Art A1
2. November 2017
Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017187503
- Aktenzeichen
- EP16900376
- Anmeldetag
- 26. April 2016
- Veröffentlichung
- 2. November 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/50C23C16/02C23C16/44H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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