Holding device, exposure method, exposure system, and transfer system

WO2017188343 Art A1 2. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017188343
Aktenzeichen: EP17789625
Anmeldetag: 26. April 2017
Veröffentlichung: 2. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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