Methods for chemical etching of silicon

WO2017189482 Art A1 2. November 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017189482
Aktenzeichen
EP17790215
Anmeldetag
25. April 2017
Veröffentlichung
2. November 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065H01L21/67H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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