A corrector structure and a method for correcting aberration of an annular focused charged-particle beam

WO2017192100 Art A1 9. November 2017

Anmelder: National University of Singapore 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017192100
Aktenzeichen: EP17792959
Anmeldetag: 5. Mai 2017
Veröffentlichung: 9. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J3/12

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Anmelder

Firma: National University of Singapore
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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