Template assembly sorting method, workpiece-polishing method, and template assembly

WO2017195460 Art A1 16. November 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017195460
Aktenzeichen
EP17795821
Anmeldetag
14. März 2017
Veröffentlichung
16. November 2017
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/30G01B11/02G01B11/24H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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