Apparatus for manufacturing organic thin film, and method for manufacturing organic thin film

WO2017195674 Art A1 16. November 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017195674
Aktenzeichen: EP17796035
Anmeldetag: 28. April 2017
Veröffentlichung: 16. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/12C23C14/54H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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