Effective compound substrate for non-destructive epitaxial lift-off

WO2017196431 Art A2 16. November 2017

Anmelder: The Regents of The University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017196431
Aktenzeichen: EP17761339
Anmeldetag: 24. Februar 2017
Veröffentlichung: 16. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of The University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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