Fluorinated Compositions For Ion Source Performance Improvement in Nitrogen Ion Implantation
WO2017196934
Art A1
16. November 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017196934
- Aktenzeichen
- EP17724712
- Anmeldetag
- 10. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 16. November 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/02H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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