Apparatus and method for transportation of a deposition source

WO2017198297 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017198297
Aktenzeichen: EP16723139
Anmeldetag: 18. Mai 2016
Veröffentlichung: 23. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/56C23C14/34H01L51/00H01L51/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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