Method for forming internal stress control film

WO2017199468 Art A1 23. November 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017199468
Aktenzeichen: EP17798906
Anmeldetag: 25. Januar 2017
Veröffentlichung: 23. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/06H01L21/28H01L21/285H01L21/3205H01L21/768H01L23/522

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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