Single crystal pulling device and single crystal pulling method

WO2017199536 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017199536
Aktenzeichen
EP17798973
Anmeldetag
3. März 2017
Veröffentlichung
23. November 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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