Metal Evaporation Material
WO2017199873
Art A1
23. November 2017
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017199873
- Aktenzeichen
- EP17799297
- Anmeldetag
- 12. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 23. November 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/24C22C5/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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