Mems device manufacturing method and mems device manufactured thereby

WO2017200199 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017200199
Aktenzeichen
EP17799557
Anmeldetag
29. März 2017
Veröffentlichung
23. November 2017
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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