Apparatus and method for patterning conductive material

WO2017200229 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Korea Institute of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017200229
Aktenzeichen: EP17799587
Anmeldetag: 28. April 2017
Veröffentlichung: 23. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/28H01L21/268H01L21/687H01L21/67H01L21/027H01L21/02H01L21/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Machinery & Materials
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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