Temperature measurement wafer sensor and method for manufacturing same

WO2017200267 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Korea Research Institute of Standards and Science 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017200267
Aktenzeichen: EP17799624
Anmeldetag: 16. Mai 2017
Veröffentlichung: 23. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/67H01L35/32H01L21/28H01L21/768G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Research Institute of Standards and Science
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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