Systems and methods for aligning and coupling semiconductor structures

WO2017200637 Art A1 23. November 2017

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017200637
Aktenzeichen: EP17799818
Anmeldetag: 27. März 2017
Veröffentlichung: 23. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/68H01L21/683H01L21/98H01L25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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