Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure device comprising pulsed light generation device, and inspection device

WO2017204112 Art A1 30. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017204112
Aktenzeichen: EP17802704
Anmeldetag: 19. Mai 2017
Veröffentlichung: 30. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/365G02F1/37H01S3/00H01S3/067

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von