Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure device comprising pulsed light generation device, and inspection device

WO2017204113 Art A1 30. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017204113
Aktenzeichen: EP17802705
Anmeldetag: 19. Mai 2017
Veröffentlichung: 30. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/01G01N21/956G02F1/37G03F1/84G03F7/20H01S3/00H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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