Atomic layer etching on microdevices and nanodevices

WO2017205658 Art A1 30. November 2017

Anmelder: The Regents of The University of Colorado, A Body Corporate, DRS Network & Imaging Systems, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017205658
Aktenzeichen: EP17803608
Anmeldetag: 25. Mai 2017
Veröffentlichung: 30. November 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/56B05D7/24C23C16/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Regents of The University of Colorado, A Body Corporate
DRS Network & Imaging Systems, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Colorado, a Body Corporate

The Regents of the University of Colorado, A Body Corporate ist die Trägerkörperschaft der University of Colorado in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma und organische Chemie, ergänzt durch Halbleiter- und Werkstofftechnik. Anmeldungen sind von 2001 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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