Processing liquid, substrate cleaning method, and resist removal method
WO2017208749
Art A1
7. Dezember 2017
Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017208749
- Aktenzeichen
- EP17806307
- Anmeldetag
- 9. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304C11D7/02C11D7/08C11D7/18C11D7/28C11D7/50C11D17/08C23G1/06C23G1/10G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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