Treatment liquid, substrate cleaning method and method for removing resist

WO2017208767 Art A1 7. Dezember 2017

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017208767
Aktenzeichen
EP17806325
Anmeldetag
11. Mai 2017
Veröffentlichung
7. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027C11D7/28C11D17/08G03F7/42H01L21/304C11D7/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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