Conductive filter device

WO2017210291 Art A2 7. Dezember 2017

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017210291
Aktenzeichen
EP17734181
Anmeldetag
31. Mai 2017
Veröffentlichung
7. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
B01D39/16B01D67/00B01D69/10B01D71/32B01D63/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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