Fluid circuit with integrated electrostatic discharge mitigation

WO2017210293 Art A1 7. Dezember 2017

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017210293
Aktenzeichen
EP17730619
Anmeldetag
31. Mai 2017
Veröffentlichung
7. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
F16L25/01F16L47/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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