Double-sided polishing device and method having polishing pad with stiffness controlled by dynamic cluster magnetic field
WO2017211082
Art A1
14. Dezember 2017
Anmelder: Guangdong University of Technology 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017211082
- Aktenzeichen
- EP17809523
- Anmeldetag
- 6. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B7/17B24B47/16C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Guangdong University of Technology
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Guangdong University of Technology
Die Guangdong University of Technology ist eine chinesische Universität mit technischem und naturwissenschaftlichem Forschungsprofil in Guangzhou. Das Patentportfolio verteilt sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik, anorganische Chemie sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Heiz- und Softwaretechnik. Anmeldungen laufen von 2011 bis in die Gegenwart.
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