Double-sided polishing device and method having polishing pad with stiffness controlled by dynamic cluster magnetic field

WO2017211082 Art A1 14. Dezember 2017

Anmelder: Guangdong University of Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017211082
Aktenzeichen
EP17809523
Anmeldetag
6. Januar 2017
Veröffentlichung
14. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
B24B7/17B24B47/16C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Guangdong University of Technology
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Guangdong University of Technology

Die Guangdong University of Technology ist eine chinesische Universität mit technischem und naturwissenschaftlichem Forschungsprofil in Guangzhou. Das Patentportfolio verteilt sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik, anorganische Chemie sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Heiz- und Softwaretechnik. Anmeldungen laufen von 2011 bis in die Gegenwart.

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