Enhancement of thermal atomic layer etching

WO2017213842 Art A2 14. Dezember 2017

Anmelder: The Regents of the University of Colorado, a body corporate 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017213842
Aktenzeichen: EP17810700
Anmeldetag: 23. Mai 2017
Veröffentlichung: 14. Dezember 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of Colorado, a body corporate
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Colorado, a Body Corporate

The Regents of the University of Colorado, A Body Corporate ist die Trägerkörperschaft der University of Colorado in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma und organische Chemie, ergänzt durch Halbleiter- und Werkstofftechnik. Anmeldungen sind von 2001 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von