Reactor for manufacturing nanostructures using chemical vapor deposition
Anmelder: THALES, Ecole Polytechnique, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Claude Bernard Lyon 1 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017216290
- Aktenzeichen
- EP17729499
- Anmeldetag
- 15. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/04C23C16/26C23C16/44C23C16/455B82Y40/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- THALES
Ecole Polytechnique
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Claude Bernard Lyon 1 - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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