Inspection device and production management method

WO2017217127 Art A1 21. Dezember 2017

Anmelder: Kyodo Yushi Co., Ltd., Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017217127
Aktenzeichen
EP17813032
Anmeldetag
28. April 2017
Veröffentlichung
21. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/90B65B55/22G01N21/88G05B19/418
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kyodo Yushi Co., Ltd.
Toray Engineering Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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