Foreign matter removal device

WO2017217252 Art A1 21. Dezember 2017

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017217252
Aktenzeichen
EP17813154
Anmeldetag
2. Juni 2017
Veröffentlichung
21. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B08B5/02B08B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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