Foreign matter removal device
WO2017217252
Art A1
21. Dezember 2017
Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017217252
- Aktenzeichen
- EP17813154
- Anmeldetag
- 2. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B08B5/02B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shinkawa Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shinkawa
Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.
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