System and method of delivering slurry for chemical mechanical polishing

WO2017218921 Art A1 21. Dezember 2017

Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017218921
Aktenzeichen: EP17814190
Anmeldetag: 16. Juni 2017
Veröffentlichung: 21. Dezember 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B24B57/02B24B37/015B24B37/10H01L21/304B24B49/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Texas Instruments Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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