Polishing liquid and chemical-mechanical polishing method

WO2017221660 Art A1 28. Dezember 2017

Anmelder: FUJI-FILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017221660
Aktenzeichen
EP17815129
Anmeldetag
1. Juni 2017
Veröffentlichung
28. Dezember 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJI-FILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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