Systems and methods for fabricating single-crystalline diamond membranes

WO2017222796 Art A2 28. Dezember 2017

Anmelder: Massachusetts Institute Of Technology, Hollis, Mark A., Wade, Travis, Geis, Michael, Molnar, Richard 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017222796
Aktenzeichen: EP17815914
Anmeldetag: 5. Juni 2017
Veröffentlichung: 28. Dezember 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Massachusetts Institute Of Technology
Hollis, Mark A.
Wade, Travis
Geis, Michael
Molnar, Richard
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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