Implantation using solid aluminum iodide (ali3) for producing atomic aluminum ions and in situ cleaning of aluminum iodide and associated by-products

WO2017223130 Art A1 28. Dezember 2017

Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017223130
Aktenzeichen: EP17734611
Anmeldetag: 21. Juni 2017
Veröffentlichung: 28. Dezember 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/48H01J37/317H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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