Deposition apparatus for coating a flexible substrate and method of coating a flexible substrate

WO2018001523 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018001523
Aktenzeichen: EP16733621
Anmeldetag: 1. Juli 2016
Veröffentlichung: 4. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C14/10C23C14/34C23C14/56B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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