Method and device for pupil illumination in overlay and critical dimension sensors

WO2018001751 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018001751
Aktenzeichen: EP17730479
Anmeldetag: 16. Juni 2017
Veröffentlichung: 4. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/04G01B11/02G01N21/956G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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